探针台的系统组成包括：

• 探针台体

• 体视显微镜

• 单筒显微镜

• 金相显微镜

• 观察摄像组件

• 探针座&夹具

• 直流探针

• 开尔文探针

• 射频/微波探针

• 光波探针

• 光学隔振台

• 屏蔽黑箱

• 转接头

• 真空气泵

• 其他升级组件

总体规格特点:

• 重量:  60kg  

• 尺寸:  580mm宽x520mm深x700mm高 

• 优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作。 

针座台面规格:

• U型固定台面，抛光不锈钢+防腐氧化材质，平整度：±3μm 

载台规格：

• 6英寸真空吸附样品台，提供气源，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附样品，小真空吸附
  尺寸0.5mmx0.5mm，真空吸附尺寸150mmx150mm

• 样品台X-Y移动平台，行程150mmx150mm，微调精度为1μm，无回差线性调节

• 样品台Y方向快速推进抽出，行程2英寸，方便快递取放样品  

• 样品台Z方向微调升降10mm，微调精度为1μm

• 样品台水平θ角度调节范围0°～360°，并微调±10°，微调精度0.01°

• 样品台电学独立悬空，可接地或加载背栅电压。 

显微镜操控规格:

• 显微镜后侧有X-Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在X-Y方向的移动，移动范围50mmX50mm，精度1μm

• 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便调焦，使显微镜在Z轴方向行程
  50.8mm，移动精度1μm

• 显微镜快速倾仰±30°功能，方便快速切换镜头，避免镜头切换时撞针。

应用场景：

• 直流IV/CV测试  

• Pulse IV测试

• 阻抗测试

• 时域分析测试

• 有源射频测试

• 无源射频/微波测试