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探针台

探针台

晶圆/液晶显示模组测试半导体/器件-小型精密手动探针台

小型精密手动探针台用于:wafer晶圆、液晶显示模组、LED外延片、其他半导体材料及器件的I-V测量、C-V测量、电阻率测量、P-I-V脉冲测量、光电测量、高频信号测量、高低温动态测试、可靠性测试等。

    Specification:
    1. 4”/6" Stainless Vacuum Chuck

    2. Vacuum On-OFF Switch to control

    3. Huge-Knob Chuck Stage X-Y Line Fine movement  

    distance 4”x4”/6”x6”, resolution 5μm

    4. Chuck theta rotation 0°~360° manual

    5. Microscope Universal Coupling travel

    Z Line Fine Up-Down 50mm,resolution 5μm

    6. Microscope Total Mag. 14X~135X

    7. Upgrade: CCD Monitor, Thermal Chuck, Vibration Isolation Table, Shielding Box

     

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