温度范围:
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密闭低温+高温:-60℃ ~ +120 ℃/ 200℃/400 ℃
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真空低温+高温:-196 ℃ /269 ℃ ~ +120 ℃/ 200 ℃/ 400 ℃/500 ℃/900℃/1200℃
样品台尺寸:
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密闭高低温样品台:4英寸/6英寸/8英寸/12英寸
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真空高低温样品台:1.25英寸/2英寸/4英寸
显微观察倍率:
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体视显微镜:综合放大倍率14X~200X(配合CCD相机+显示器),光学小分辨率约5微米;
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金相显微镜:综合放大倍率20X~2000X (配合CCD相机+显示器),光学小分辨率约0.5微米。
微定位座和夹具:
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器件是几端口,二极管为2端,三极管为3端,场效应管为4端,特殊多端口器件;
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测量何种参数,电压、电流、电阻、电容、单色光、激光、光谱、光强等;
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配套仪表,数字源表、半导体参数分析仪、矢量网络分析仪、频谱仪、信号发生器、示波器、锁相放大器等