精细准确的探针座微定位功能
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1. 精细螺纹加工技术,螺纹牙距80TPI/100TPI/200TPI/300TPI,对应的定位精度分别为1.4微米/0.7微米/0.35微米/0.25微米;螺纹牙距指的是相邻两牙在中径线上对应两点间的轴向距离。用TPI=Thread Per Inch即每英寸(25.4mm)有多少个螺牙来表示。
例如:100TPI代表的位移精度=25.4mm/100/360°=0.0007mm=0.7μm; -
2. 线性V型轨道设计,从头到尾、由正向反顺畅一致的行程,无蛇形、无回差准确地“定点降落”到测试点;
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3. 精密装配技术,数月、数年的反复使用,无崩牙,极低故障率。
HMP-200规格:
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重量 1200克
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精度 0.35μm
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牙距 200螺纹/英寸
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X-Y-Z线性移动范围 12mmX12mmX12mm
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特点:无回差线性移动,可靠性非常好
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吸附类型:磁性可开关型吸附底座
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三同轴(Triaxial)探针夹具
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适用于测量微弱电流<100fA
HMP-100规格:
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重量 1000克
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精度 0.7μm
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牙距 200螺纹/英寸
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X-Y-Z线性移动范围 12mmX12mmX12mm
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特点:无回差线性移动,可靠性好
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吸附类型:磁性可开关型吸附底座
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三同轴(Triaxial)探针夹具
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适用于测量微弱电流<100fA
HMP-80 规格:
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重量 500克
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精度 1μm
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牙距 80螺纹/英寸
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X-Y-Z线性移动范围 12mmX12mmX12mm
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特点:无回差线性移动,可靠性好
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吸附类型:磁性可开关型吸附底座
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三同轴(Triaxial)探针夹具,弱电流测量精度<100fA
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同轴(Coaxial)探针夹具,弱电流测量精度<10pA。