总体规格特点:

• 重量：200kg

• 尺寸：800mm長x800mm寬600mm高（含显微镜）

• 总功耗：8KW（其中压缩机功耗约7KW，其余约1KW）

结构说明：

真空腔体：

密闭真空仓，体积25L，极限耐压真空度可以达到1×10-10mbar，结合排气过滤器，避免污染客户的工作环境。顶部设计为易
于打开的仓体门，便于取放被测器件。顶部为高透光红外隔热熔融石英视窗，用于显微镜进行观察。内部配置2英寸同轴接地
合金样品座和4英寸样品座电磁屏蔽保护层，与样品座等电势位，电流泄漏最低10fA。

                                                    P1. 腔体内部图 

温控模块：

采用高性能的26C四通道精密温度控制器、温度传感器及加热器，闭循环制冷温控范围4K ~ 400K / 10K ~400K。对低于室温
的温度设置点，由低温制冷机来实现降温；当需要升温时采用温控仪的加热器功能，控制器将实现温度的平稳控制，温控精度
为1mK（0.001℃）， 温控稳定度10mK（0.01℃），温度测量误差小于20ppm/℃。

热管理模块/热沉处理：

温度传感器分别安装在样品台、探针臂和防热辐射屏上，提供一个准确的控温环境。探针臂、探针、防辐射层和样品座之间做
热沉处理，实现各者之间的温度同步控制。同时探针做热补偿，防止变温实验时探针产生位移离开样品接触点。

闭循环制冷模块：

闭循环制冷采用高效G-M循环和二级回热制冷机、高功率压缩机组成，制冷机的作用是产生连续闭合的制冷循环，压缩机的作
用是提供高压氦气。G-M制冷机提供探针台所需要的冷源，这种制冷方式的优点是只需要电能，使用不受冷媒限制不消耗冷媒。
这种制冷方式的低温探针台使用4K或者10K闭循环制冷机，相对应的样品台温度最低低于4K和10K。制冷机的一级制冷平台冷
却辐射屏以及支撑连接部分，二级制冷平台冷却样品台和探针。

                                                                                                                    P2. 两级G-M循环型制冷机

探针控制模块：

真空仓外接最多六个刚性结构真空波纹管臂，每个管臂均可在XYZ三维线性方向和Ө水平夹角进行微调，实现对真空仓内部
探针的定位调节。管臂采用线性轨道和四维微分头结构，XYZ三维线性调节范围为50mmx25mmx25mm，调节精度1微米，
Ө水平夹角可调节范围±5°，角度精度0.01°。每个真空波纹管臂提供2个真空电学接口，适用于DC/Pulse/RF测试。

显微镜模块：

采用视频显微镜，万向调节展臂，可X-Y-Z任意方向移动，配合高清工业相机和液晶监视器，实现um级别的观察分辨率。

隔震模块：

与测试平台一体式气垫隔震支架系统，承重：300KG，真空隔震垂直频率优于1 Hz，水平频率优于2 Hz，隔震效果优于
0.5微米